Вакуумная и высокодавленческая полимеризация для упаковки без пустот #
Категория сушильного оборудования под давлением охватывает печи, сочетающие вакуум и избыточное давление. Цель — удалить воздух из материалов герметизации и границ склеивания перед полимеризацией, а затем сжать оставшиеся микропузырьки, чтобы смола заполнила полость.
Вакуумно-компрессионная печь полимеризации #
Вакуумно-компрессионная печь полимеризации (VPCO) объединяет вакуумную дегазацию с устранением пустот под высоким давлением. Крупные пустоты удаляются на вакуумной стадии; затем высокое давление растворяет стойкие микропузырьки в смоле. В результате повышается плотность упаковки и снижается риск расслоения.
Официальные характеристики:
- Максимальная температура: 250 °C
- Равномерность температуры: 200 °C ± 3 °C (без нагрузки)
- Чистота: класс 100, проверяется счётчиком частиц
- Точность регулирования давления: в пределах ±0,1 кг/см²
- Максимальное давление: 10 кгс/см²
- Уровень вакуума: 5 Torr с сухим насосом
- Концентрация кислорода: 20 ppm
- Заготовка: пластины 12 дюймов × 26 шт.; стеклянные подложки 310 × 310 мм в кассете 380 × 380 мм × 26 шт.
Применения включают склеивание плёнкой для приклеивания кристалла (DAF) и капиллярный underfill (CUF) в передовой упаковке полупроводников; заливку и герметизацию силовых модулей EV/IGBT/SiC; а также ламинирование OCA, склеивание сенсорного стекла, приклеивание поляризаторов и оптическое склеивание дисплеев.