Предварительный нагрев для ABF и передовых процессов подложек #
Категория сушильного оборудования с предварительным нагревом сейчас включает устройство HWPH — конвейерную печь предварительного нагрева, разработанную для процессов панелей и подложек.
Устройство предварительного нагрева HWPH #
HWPH рассчитано на экспозиционную сушку (PEB) FCBGA и FCCSP, предварительный нагрев при ламинировании сухой плёнки несущих плат ABF и литографическую экспозиционную сушку. Уникальная конструкция осей предотвращает застревание материала и термическую деформацию, а малоизнашиваемый зубчатый узел снижает пылеобразование.
Воздушная заслонка регулируется под требования продукта и может сочетаться с системой рециркуляции для повторного использования тепла. Камера использует высокотемпературную HEPA-фильтрацию, полную аргоновую сварку для защиты от внешней пыли и высокоплотную японскую каменную вату. Эффективный двигатель снижает энергопотребление при длительной работе.
Официальные характеристики:
- Модель: HWPH-1000U-A02
- Внешние размеры: W950 × D1530 × H2380 мм
- Чистота: ISO 14644-1 класс 5 при 0,3 µm
- Диапазон температур: RT + 10 °C до 90 °C максимум
- Равномерность температуры: ±2 °C (измерение температуры платы)
- Размер панели: 508 × 508 мм, толщина 0,1–3 мм
- Направление конвейера: справа налево (перед HMI)
- Скорость конвейера: 0,8–3 ± 0,1 м/мин
- Регулятор температуры: японский PID + SSR с HMI и релейным ПК