Чистая среда с низким содержанием кислорода для чувствительных процессов #
Категория «Чистые помещения и инертный газ» содержит два семейства продуктов. WOL использует HEPA-фильтрацию для контроля частиц; QWO использует продувку азотом и избыточное давление для контроля кислорода. Оба применяются там, где обычные печи с горячим воздухом внесли бы загрязнение или окисление.
Печь для чистого помещения WOL #
WOL — печь для чистого помещения со специальной задней дверной панелью, рассчитанной на отсутствие деформации при нагреве, что снижает теплопотери и поддерживает равномерность температуры. Импортный HEPA-фильтр обеспечивает эффективность фильтрации 99,97 %, а камера, как указано, достигает чистоты ISO 14644-1 класс 4–6 при 0,3 µm.
Модели WOL-2, WOL-3, WOL-7 и WOL-8 охватывают камеры от 70 × 50 × 60 см до 150 × 70 × 160 см с диапазонами температур до 300 °C в зависимости от модели. Применения включают LCD, печные трубы, производство пластин, световоды, интегральные схемы, транзисторы, диоды, светодиоды, модули подсветки и полимеризацию оснастки.
Печь с инертным газом QWO #
QWO — печь с инертным газом, использующая азот для вытеснения кислорода и поддержания атмосферы с низким содержанием кислорода. В официальном описании указано, что она снижает содержание кислорода до 10 ppm и экономит около 30 % расхода азота.
Ключевые особенности конструкции включают регулируемый предохранительный клапан для избыточного давления, герметичное уплотнение на выходе кабеля трубчатого нагревателя, схему дросселирования основного/вспомогательного N2, охлаждающий промежуточный слой, поддерживающий бескислородную среду при охлаждении, и внутреннюю дверь, образующую азотный барьер. Применения включают упаковку интегральных схем, сушку пластин, осаждение плёнок, сушку полупроводников, сушку PCB, сушку панелей и сушку подложек ABF.