민감한 공정을 위한 청정 저산소 환경 #
클린룸·불활성 가스 카테고리는 두 제품군을 포함합니다. WOL은 HEPA 여과로 입자를 제어하고, QWO는 질소 퍼지와 양압으로 산소를 제어합니다. 두 제품 모두 일반 열풍 오븐이 오염이나 산화를 일으킬 수 있는 용도에 사용됩니다.
WOL 클린룸 오븐 #
WOL은 가열 시 변형되지 않도록 설계된 특수 후면 도어 패널을 갖춘 클린룸 오븐으로, 열 손실을 줄이고 온도 균일성을 지원합니다. 수입 HEPA 필터는 99.97% 여과 효율을 제공하며, 챔버는 ISO 14644-1 클래스 4–6 @ 0.3 µm 청정도를 달성한다고 설명됩니다.
WOL-2, WOL-3, WOL-7, WOL-8 모델은 70 × 50 × 60 cm에서 150 × 70 × 160 cm까지의 챔버 크기를 지원하며, 모델에 따라 최대 300°C의 온도 범위를 갖습니다. 용도에는 LCD, 퍼니스 튜브, 웨이퍼 제조, 도광판, IC, 트랜지스터, 다이오드, LED, 백라이트 모듈, 지그 경화가 포함됩니다.
QWO 불활성 가스 오븐 #
QWO는 질소로 산소를 치환하고 저산소 분위기를 유지하는 불활성 가스 오븐입니다. 공식 설명에 따르면 산소를 10 ppm까지 낮추고 질소 소비를 약 30% 절감할 수 있습니다.
주요 설계 특징은 양압용 조절식 압력 릴리프 밸브, 관형 히터 케이블 출구의 기밀 시일, 주/보조 N2 스로틀 설계, 냉각 중 무산소 환경을 유지하는 냉각 중간층, 질소 장벽을 형성하는 내부 도어입니다. 용도에는 IC 패키징, 웨이퍼 베이킹, 박막 증착, 반도체 건조, PCB 베이킹, 패널 건조, ABF 기판 건조가 포함됩니다.