스마트 팩토리를 위한 자동 클린룸·불활성 가스 오븐 #
WEISUN의 인더스트리 4.0 라인은 청정 저산소 열처리에 자동 자재 반송과 데이터 통합을 결합합니다. 오븐은 AGV, RGV, MGV, EFEM, 로봇 암, 로더, 언로더와 결합할 수 있으며 온도, 산소, 설비 상태 데이터를 공장 시스템으로 업로드할 수 있습니다.
공식 카테고리 페이지에는 4개 제품이 게시되어 있습니다. 아래 설명은 발췌이며, 전체 사양, 옵션, 도면은 공식 제품 페이지에서 확인하십시오.
청정 무산화 스마트 오븐(AQWOL-5S) #
팬아웃 패널 레벨 패키징(FOPLP)에 맞춘 클린룸·불활성 가스 오븐입니다. 온도 균일도 ±1.5%, 클래스 10–100 클린룸 호환, 챔버 내 산소 농도 50 ppm 미만을 제공합니다. 28존 자동 댐퍼 시스템이 배치 크기에 따라 레시피를 조정하여 수동 설정을 줄이고 재현성을 높입니다.
챔버는 700 × 700 mm 스틸 캐리어와 310 × 310 mm에서 700 × 700 mm까지의 유리 패널을 위해 설계되었습니다. 반송은 수동 또는 AMR + 로봇, 컨베이어 + 로봇으로 자동화할 수 있습니다. 통신 옵션에는 CIM, Ethernet, SECS/GEM, PCB ECI가 있습니다.
톱다운 기류 자동 오븐(ANWOL) #
이중 챔버 자동 오븐으로 제32회 Taiwan Excellence Award를 수상했습니다. 99% 기밀성을 제공하는 특허 다층 에어 도어, 평균 냉각 속도 4.5°C/분의 수냉 시스템, 유기 용제의 25%를 회수하는 배기·용제 회수 시스템을 갖추고 있습니다.
AGV/RGV/MGV와 로봇 암, PCB ECI 데이터 업로드, 연기 감지, 원격 구성, 부품 조기 경보 시스템을 지원합니다. 공정 온도는 RT–450°C, 온도 균일도 ±1.5%, 청정도 ISO 14644-1 클래스 5, 산소 농도 20 ppm입니다.
전자동 고온 클린룸·불활성 가스 오븐(AQHWOL) #
EFEM 또는 로봇 암과 결합할 수 있는 전자동 오븐입니다. 온도, O2/N2 농도, AGV 배터리 용량, 자재 위치, 도어 상태를 위한 내장 센서와 오븐, 로더, 기류 모터용 네트워크 PLC 컨트롤러를 사용합니다.
사양은 RT–450°C, 온도 균일도 ±1.5%, ISO 14644-1 클래스 5 청정도, 산소 농도 20 ppm, CIM, Ethernet, SECS/GEM, PCB ECI 통신입니다. PR/PI 공정의 칩·기판 경화, 웨이퍼 레벨 패키징, 팬아웃 패널 레벨 패키징에 사용됩니다.
AGV, RGV, MGV 자동 반송차 클린룸·불활성 가스 오븐(AQWOL) #
AGV, RGV, 전동 또는 수동 대차(MGV)와 호환되는 전자동 클린룸·불활성 가스 오븐입니다. IoT를 통해 센서와 컨트롤러를 통합하고, CPS 사이버-물리 시스템으로 처리 능력과 효율을 관리하며, 품질 추적성을 위한 전자 배치 기록을 생성합니다.
오븐은 RT–300°C, 온도 균일도 ±1.5%, ISO 14644-1 클래스 5 청정도, 산소 함량 1%로 작동합니다. 공정 범위에는 PCB D/F, 라미네이션, 플러그 홀, 솔더 마스크, SAP, 범핑, 패널 팬아웃이 포함됩니다. 반송 능력은 맞춤화할 수 있습니다.