첨단 소재의 산화 제어와 고온 처리 #
첨단 소재는 온도에 민감한 계면과 산화에 민감한 금속, 수지, 코팅을 결합하는 경우가 많습니다. WEISUN은 불활성 가스 오븐, 고온 오븐, 진공 오븐, 소결로로 이러한 공정에 대응합니다.
WEISUN의 첨단 소재 공식 적용 링크는 QWO 불활성 가스 오븐을 가리킵니다. QWO는 질소 퍼지와 양압으로 산소를 10 ppm까지 낮추며 질소 소비를 약 30% 절감한다고 설명됩니다.
관련 공정 #
- 무산화 베이킹 및 경화
- IC 패키징 및 웨이퍼 베이킹
- 박막 증착 및 코팅 공정
- 고온 어닐링 및 시효 경화
- 진공 건조 및 탈포
- 소결 및 회화 시험
대표 장비 #
- QWO 불활성 가스 오븐 — 10 ppm 산소 제어, 낮은 질소 소비, 양압 설계, 산화에 민감한 공정용 냉각 중간층.
- HTWV 초고온 증기 반응로 — 상온~500°C, 600°C 옵션. 높은 열 침투성과 폐열 회수.
- WVO 진공 오븐 — 5 × 10⁻³ Torr 이상의 진공도로 건조, 탈포, 기포 제거 대응.
- WSF 고온 소결로 — 상온~1200°C, 사중 단열과 양면 복사 가열.