Oxidationskontrolle und Hochtemperaturverarbeitung für fortschrittliche Materialien #
Fortschrittliche Materialien kombinieren häufig temperaturempfindliche Grenzflächen mit oxidationsempfindlichen Metallen, Harzen oder Beschichtungen. WEISUN begegnet diesen Prozessen mit Inertgasöfen, Hochtemperaturöfen, Vakuumöfen und Sinteröfen.
Der offizielle WEISUN-Anwendungslink für fortschrittliche Materialien verweist auf den QWO-Inertgasofen. Der QWO nutzt Stickstoffspülung und Überdruck, um den Sauerstoffgehalt auf bis zu 10 ppm zu senken, und spart laut Beschreibung etwa 30 % des Stickstoffverbrauchs.
Relevante Prozesse #
- Oxidationsfreies Backen und Härten
- IC-Packaging und Wafer-Backen
- Schichtabscheidungs- und Beschichtungsprozesse
- Hochtemperatur-Anlassen und Aushärten
- Vakuumtrocknung und Entschäumung
- Sinter- und Veraschungstests
Repräsentative Anlagen #
- QWO-Inertgasofen — 10-ppm-Sauerstoffregelung, niedriger Stickstoffverbrauch, Überdruckdesign und Kühlzwischenschicht für oxidationsempfindliche Prozesse.
- HTWV-Ultrahochtemperatur-Dampfreaktor — Umgebungstemperatur bis 500 °C, 600 °C optional; hohe Wärmeeindringtiefe und Abwärmerückgewinnung.
- WVO-Vakuumofen — Vakuum bis 5 × 10⁻³ Torr oder mehr zum Trocknen, Entschäumen und Entfernen von Blasen.
- WSF-Hochtemperatur-Sinterofen — RT bis 1200 °C mit vierfacher Isolierung und beidseitiger Strahlungsheizung.