スマートファクトリー向けの自動クリーンルーム・不活性ガスオーブン #
WEISUNのインダストリー4.0ラインは、クリーンで低酸素の熱処理に、自動マテリアルハンドリングとデータ統合を組み合わせています。オーブンはAGV、RGV、MGV、EFEM、ロボットアーム、ローダー、アンローダーと組み合わせることができ、温度、酸素、設備状態のデータを工場システムにアップロードできます。
公式カテゴリページには4製品が掲載されています。以下の説明は抜粋です。完全な仕様、オプション、図面は公式製品ページをご覧ください。
クリーン無酸化スマートオーブン（AQWOL-5S） #
ファンアウトパネルレベルパッケージ（FOPLP）向けに調整されたクリーンルーム・不活性ガスオーブンです。温度均一性±1.5%、クラス10–100のクリーンルーム対応、チャンバー内酸素濃度50 ppm未満を実現します。28ゾーンの自動ダンパーシステムがバッチサイズに応じてレシピを調整し、手動設定を減らして再現性を高めます。
チャンバーは700 × 700 mmのスチールキャリアと、310 × 310 mmから700 × 700 mmまでのガラスパネルに対応するよう設計されています。搬送は手動またはAMR + ロボット、コンベア + ロボットによる自動化が可能です。通信オプションにはCIM、Ethernet、SECS/GEM、PCB ECIがあります。
トップダウンエアフロー自動オーブン（ANWOL） #
二重チャンバー自動オーブンで、第32回台湾エクセレンス賞を受賞しました。特許取得の多層エアードアにより99%の気密性を実現し、平均冷却速度4.5°C/分の水冷システム、有機溶剤の25%を回収する排気・溶剤回収システムを備えています。
AGV/RGV/MGVとロボットアーム、PCB ECIデータアップロード、煙検知、遠隔設定、部品の早期警報システムに対応します。プロセス温度はRT–450°C、温度均一性は±1.5%、クリーン度はISO 14644-1クラス5、酸素濃度は20 ppmです。
全自動高温クリーンルーム・不活性ガスオーブン（AQHWOL） #
EFEMまたはロボットアームと組み合わせられる全自動オーブンです。温度、O2/N2濃度、AGVバッテリー容量、材料位置、ドア状態の内蔵センサーに加え、オーブン、ローダー、気流モーター用のネットワーク接続PLCコントローラーを備えています。
仕様はRT–450°C、温度均一性±1.5%、ISO 14644-1クラス5のクリーン度、酸素濃度20 ppm、CIM、Ethernet、SECS/GEM、PCB ECI通信です。PR/PIプロセスにおけるチップ・基板のキュア、ウェーハレベルパッケージ、ファンアウトパネルレベルパッケージを目的としています。
AGV、RGV、MGV自動搬送車クリーンルーム・不活性ガスオーブン（AQWOL） #
AGV、RGV、電動または手動台車（MGV）に対応する全自動クリーンルーム・不活性ガスオーブンです。IoTを通じてセンサーとコントローラーを統合し、CPSサイバーフィジカルシステムで処理能力と効率を管理し、品質トレーサビリティ用の電子バッチ記録を作成します。
オーブンはRT–300°C、温度均一性±1.5%、ISO 14644-1クラス5のクリーン度、酸素含有量1%で動作します。プロセス範囲はPCB D/F、ラミネーション、プラグホール、ソルダーレジスト、SAP、バンピング、パネルファンアウトです。搬送能力はカスタマイズ可能です。