بيئات نظيفة منخفضة الأكسجين للعمليات الحساسة #
تضم فئة الغرف النظيفة والغاز الخامل عائلتين من المنتجات. يستخدم WOL ترشيح HEPA للتحكم في الجسيمات؛ ويستخدم QWO تطهير النيتروجين والضغط الموجب للتحكم في الأكسجين. ويُستخدمان حيث تُدخل أفران الهواء الساخن العادية تلوثاً أو أكسدة.
فرن الغرفة النظيفة WOL #
WOL فرن غرفة نظيفة بلوحة باب خلفية خاصة مصممة لتبقى غير مشوهة تحت التسخين، ما يقلل فقدان الحرارة ويدعم انتظام درجة الحرارة. ويوفر مرشح HEPA مستورد كفاءة ترشيح 99.97%، وتُوصف الغرفة بأنها تحقق نظافة ISO 14644-1 الفئة 4–6 عند 0.3 µm.
تغطي الطرازات WOL-2 وWOL-3 وWOL-7 وWOL-8 أحجام غرف من 70 × 50 × 60 cm إلى 150 × 70 × 160 cm، مع نطاقات حرارة تصل إلى 300°C حسب الطراز. وتشمل التطبيقات شاشات LCD وأنابيب الأفران وتصنيع الرقائق وألواح توجيه الضوء والدوائر المتكاملة والترانزستورات والثنائيات وLED ووحدات الإضاءة الخلفية ومعالجة أدوات التثبيت.
فرن الغاز الخامل QWO #
QWO فرن غاز خامل يستخدم النيتروجين لإزاحة الأكسجين والحفاظ على غلاف جوي منخفض الأكسجين. ويذكر وصفه الرسمي أنه يمكنه خفض الأكسجين إلى 10 ppm وتوفير نحو 30% من استهلاك النيتروجين.
تشمل ميزات التصميم الرئيسية صمام تنفيس ضغط قابل للتعديل للضغط الموجب، وإحكاماً محكماً عند مخرج كابل السخان الأنبوبي، وتصميماً لخنق N2 الرئيسي/الاحتياطي، وطبقة تبريد وسطية تحافظ على بيئة خالية من الأكسجين أثناء التبريد، وباباً داخلياً يشكل حاجزاً للنيتروجين. وتشمل التطبيقات تغليف الدوائر المتكاملة وخبز الرقائق وترسيب الأفلام وتجفيف أشباه الموصلات وخبز PCB وتجفيف اللوحات وتجفيف ركائز ABF.